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随着苏晨的一声令下。
整个研究所开始投入到光刻机紧张的研制当中。
苏晨换上了一身科研服装,走进了一间实验室。
而他的身边是林老和张老。
不过他们是来给苏晨打下手的。
苏晨有点无奈。
他开口说道:“林老,张老。
真不用,我一个人来就行了。”
“你们两位的身份怎么能给我打下手呢?”
“呵呵,小苏,你想做什么就做。”
“我们两个老家伙是来学习的。”
“保证不打扰你,当然,给你打打下手也行。”
林老笑着说道。
苏晨劝了几次,两位老人还是坚持。
苏晨就放弃了。
能让龙国两位国宝级的人物,给自己打下手。
这要传出去,得引起多大的轰动啊..
苏晨摇了摇脑袋,把心中这些杂念驱逐了出去。
开始一心一意的做起了科研。
他要做的是无掩模光刻机的核心:光刻!
苏晨操控者机械臂小心翼翼的清除了硅片上的污染物,然后在基底表面涂上了一层hdms。
几个呼吸后。
hdms与基底表面的二氧化硅作用,产生了一层强力防水层。
林老和张老在一旁紧张的注视着。
连大气都不敢喘。
因为接下来要到最关键的步骤了。
传统的光刻是用紫外线来进行的。
现在苏晨用的是x射线。
他们很想知道这种用x射线和紫外线刻画有什么不同。
苏晨操作机械臂的手更加小心翼翼。
他在硅晶圆不同的位置上注入了不同的离子。
然后根据这些硅晶圆含有不同的杂质以及位置的不同,组成了场效应管。
在做到这一步的时候,林老和张老抬起头互相对视了一眼。
他们都从彼此眼中看出了震惊!
紧接着,苏晨用x射线开始在硅晶圆上进行蚀刻!
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